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Großflächige Plasmabeschichtungen: Niederdruck oder Atmosphärendruck?
Author(s) -
Hegemann Dirk
Publication year - 2011
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201100472
Subject(s) - physics , chemistry
Die Forschung auf dem Gebiet der Atmosphärenplasmen wird häufig mit dem Argument motiviert, dass diese im Vergleich mit Niederdruckplasmen die kostengünstigeren Prozesse erwarten lassen. Ein Kostenvergleich von plasmachemischen Prozessen, die auch an Atmosphäre möglich sind, ergeben jedoch ein anderes Bild: Hohe Gasflüsse, die bei Atmosphärenplasmen notwendig sind, erweisen sich als kostenintensiver als Vakuumtechnologie für großflächige Plasmabeschichtungen.