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Transparentes leitfähiges TiO 2 :Nb – ein TCO‐Material der Zukunft?
Author(s) -
Junghähnel Manuela,
Kopte Torsten,
Zywitzki Olaf
Publication year - 2011
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201100459
Subject(s) - materials science , chemistry , nuclear chemistry
Niob dotiertes Titanoxid ist ein noch weitestgehend unbekanntes TCO‐Material. Mittels Gleichstrom‐ und Puls‐Magnetron‐Sputtern wurden polykristalline TiO 2 :Nb‐Schichten in einer produktionsähnlichen Beschichtungsanlage abgeschieden und die Eigenschaften der Schichten untersucht. Eine mittels Gleichstrom gesputterte 100 nm dicke TiO 2 :Nb‐Schicht zeigt nach einer thermischen Behandlung bei 450 °C einen niedrigen spez. elektr. Widerstand von 7,2 × 10 −4 Ωcm, einen Extinktionskoeffizienten von 0,02 und eine Transmission im sichtbaren Spektralbereich von 74,8%.