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Schichten über Schichten
Author(s) -
Schaaf Peter,
Spieß Lothar,
Kups Thomas,
Romanus Henry,
Grieseler Rolf,
Hopfeld Marcus,
Wilke Marcus,
Stauden Thomas,
Lorenz David,
Fischer Andreas
Publication year - 2011
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201100457
Subject(s) - gynecology , medicine
Schichten und Beschichtungen sind mittlerweile eine unabdingbare Voraussetzung für eine Vielzahl von technischen Anwendungen für hochwertige Werkstoffe geworden. In diesem Beitrag werden beispielhaft hochwertige Beschichtungen für elektrisch leitende und optisch transparente Schichten für die Photovoltaik, Schichten für medizinische Elektroden, für Halbleiterkontakte und für Hochtemperaturkontakte vorgestellt. Die hierfür eingesetzten Verfahren sind das Magnetron‐Sputtern und die gepulste Laserdeposition. Der Einfluss der Beschichtungsparameter auf die funktionalen Eigenschaften werden vorgestellt.