Premium
Charakterisierung von Schichten und Platten
Author(s) -
Sklarczyk Christoph
Publication year - 2011
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201100453
Subject(s) - physics , chemistry
Mit Hilfe von Mikrowellen lassen sich die unterschiedlichsten Werkstoffe in Form von Schichten, Platten oder Objekten komplexer Geometrie hinsichtlich ihrer Materialeigenschaften, Fehler und Geometrie charakterisieren. Die Prüfung erfolgt zerstörungsfrei und kann berührungslos und schnell durchgeführt werden. Im Durchstrahlungsmodus können nichtmetallische und elektrisch schwach leitende Werkstoffe bis zu einer Dicke von mehreren cm untersucht werden, metallische Werkstoffe dagegen je nach Leitfähigkeit bis zu einer Dicke von mehreren µm oder nm. Im Reflexionsmodus lassen sich auch elektrisch stärker leitende Materialien prüfen.