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Hochvakuumpumpe gegen Atmosphäre
Author(s) -
Shirinov Aleksandr
Publication year - 2010
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201000441
Subject(s) - physics , gynecology , medicine
Die OnTool TM Booster‐Vakuumpumpe besteht aus Seitenkanal‐ und HolweckPumpstufen, erzielt einen Druck von 10 −5 mbar (10 −3 Pa) und arbeitet gegen Atmosphäre. An Seitenkanal‐Pumpstufen durchgeführte Forschungsarbeiten zeigen auf, wie Kompression und Saugvermögen erhöht und die Leistungsaufnahme gesenkt werden können. Die Versuche belegen, dass Rotoren mit beidseitig bearbeiteten Radialschaufeln am Umfang des Rotors bessere Leistungsdaten aufweisen als Rotoren mit nur einseitig bearbeiteten Radial‐, halbrunden oder geraden Schaufeln. Außerdem zeigte sich, dass die Kompression der SeitenkanalPumpstufen von der Anzahl der Radialschaufeln am Rotorumfang abhängt. Die Kompression der SeitenkanalPumpstufen erreicht ihr Maximum bei einer bestimmten Anzahl von Radialschaufeln im Rotor N m = D · k m , weil die Bewegungs‐ und Energieübertragung vom Rotor in das Gas im Seitenkanal bei dieser Radialschaufelanzahl ihren höchsten Wert erreicht. Durch eine Reduzierung der Axialspalte zwischen Rotor und Stator steigt die Kompression der Seitenkanal‐Pumpstufen wie erwartet aufgrund der geringeren Undichtigkeit entlang der Spalte.

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