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PVD Produktion optimieren
Author(s) -
Esser Stefan
Publication year - 2010
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201000436
Subject(s) - gynecology , materials science , medicine
PVD Schichten haben sich heute in verschiedensten Anwendungen etabliert z. B. Beschichtungen auf Werkzeugen, Motorenkomponenten und Beschlägen. Jede Anwendung stellt auch andere Anforderungen an die Halterung der Substrate in der PVD Anlage, um die Schicht auf den Funktionsflächen zu verteilen und ihr Wachstum zu steuern. Um konkurrenzfähig zu sein, müssen gleichzeitig möglichst viele Substrate in der Beschichtungszone angeordnet werden und die Halterung sollte möglichst für alle Fertigungsschritte geeignet sein. Mit optimierten Halterungssystemen kann hier die Qualität der Schicht gesteigert und die Herstellkosten können gesenkt werden.