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Flächeneinfluss bei der PACVD‐Beschichtung
Author(s) -
Martin Jasmin,
Krell Lisa,
Schnagl Johann,
Stahl Karsten
Publication year - 2010
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201000422
Subject(s) - chemistry
In der Automobilindustrie werden wirtschaftliche und stabile Prozesse zur Beschichtung mit Hartstoffschichten für tribologische Anwendungen benötigt. Daher ist es erforderlich, den Einfluss der Beschichtungsparameter auf die Schichteigenschaften zu kennen. In vorliegender Untersuchung wird die Beschichtung mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung betrachtet. Hauptsächlich wird der Einfluss der in die Beschichtungskammer eingebrachten aktiven Fläche auf die Eigenschaften amorpher Kohlenstoffschichten (DLC) geprüft. Die Herstellung der Beschichtungen erfolgt in einer industriellen Beschichtungskammer bei einer Frequenz von 40 kHz, mit konstanter Bias Spannung und gleichbleibendem Kammerdruck. Die Versuche bestätigen eine Korrelation zwischen aktiver Fläche und Stromdichte, wodurch auch die mechanischen und tribologischen Eigenschaften der DLC‐Schichten beeinflusst werden. Durch gezielte Regelung der Stromdichte wird es möglich, auch bei unterschiedlich großer aktiver Fläche gleichbleibende Schichteigenschaften zu erzielen und eine Verbesserung der Schichtqualität in Bezug auf ihren Verschleiß bei hochbelasteten Motorbauteilen zu erreichen.