Premium
Membranvakuumpumpen als Turbo‐Vorpumpen
Author(s) -
Dirscherl Jürgen
Publication year - 2010
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201000417
Subject(s) - gynecology , political science , physics , medicine
Moderne Turbopumpen mit integrierter Molekularpumpstufe können mit einem Vorvakuum im mbar‐Bereich betrieben werden. Als Vorpumpe können daher vorteilhaft ölfreie Membranvakuumpumpen eingesetzt werden. Große Fortschritte bei der Membrantechnologie durch den Einsatz optimierter Flachmembrane sowie durch elektronisch gesteuerte Antriebssysteme machen Membranpumpen noch kompakter, leistungsfähiger und zuverlässiger. Über fünf Jahre laufende Dauertests an Membranvakuumpumpen mit kontinuierlicher Endvakuummessung zeigen Membranlebensdauern von über 40.000 Stunden, und dies bei konstant sehr gutem Endvakuum. Insbesondere bei drehzahlgeregelten Systemen sind damit Wartungsintervalle ähnlich denen von Turbopumpen mittlerweile realisierbar.