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Ionengetterpumpen
Author(s) -
Thierley Marcus
Publication year - 2010
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.201000416
Subject(s) - chemistry , philosophy , gynecology , medicine
Ionengetterpumpen werden nicht nur durch ihr nominelles Saugvermögen charakterisiert. Sehr großen Einfluss auf das Pumpverhalten für verschiedene Gase haben die eingesetzten Pumpelemente. Heute hat der Anwender die Qual der Wahl, da es verschiedene Pumpelemente auf dem Markt gibt. Dieser Artikel soll dabei helfen, die passende Pumpe für die vorgesehene Applikation auszuwählen.