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Infrarot‐Laserabsorptionsspektroskopie mit Quantenkaskadenlasern in der industriellen Anwendung
Author(s) -
Zimmermann Henrik,
Scheffler Peter,
Spreeberg Sebastian
Publication year - 2009
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200900398
Subject(s) - humanities , chemistry , philosophy
Spektroskopischen Verfahren zur Gasösung, sie waren unhandlich, nicht robust genug oder schlicht zu teuer. Durch Quantenkaskadenlaser als Strahlungsquelle kann nun die Anwendung der MIR‐Absorptionsspektroskopie in der Industrie revolutioniert werden. Zwar steht die industrielle Nutzung in der Plasmaprozesstechnik noch am Anfang, jedoch ist ihr enormes Potenzial bereits jetzt erkennbar, was durch Messungen an Plasmaätzanlagen der Halbleiterindustrie eindrucksvoll belegt wird.