Heliumpartialdrucksensor statt Massenspektrometer im Helium‐Leckdetektor

Die Dichtheitsprüfung mit Helium als Prüfgas ist in der industriellen Fertigung zur Qualitätssicherung etabliert. Insbesondere bei Applikationen mit hohen Anforderungen zu Genauigkeit und Nachweisgrenze steht kein alternatives Verfahren zur Verfügung. In den Prüfanlagen erfolgt der Nachweis des Heliums bisher mit massenspektroskopischen Methoden. Hierzu sind Hochvakuumbedingungen notwendig. Die Sicherstellung dieser Bedingung in der Industrieumgebung ist zeitaufwendig und kostenintensiv. Der neuartige Wise Technoloy TM Sensor weist Helium unabhängig vom Umgebungsdruck bis hin zum atmosphärischen Druck nach. Die Anforderungen an das Pumpsystem in den Prüfanlagen sind also drastisch geringer, bzw. das Pumpsystem kann komplett entfallen. Im Sensor wird zum Heliumnachweis mit einer sehr dünnen, beheizten Quarzmembran das Helium von anderen Luftbestandteilen getrennt. In einem gekapselten, evakuierten Volumen hinter der separierenden Membran wird mit hoher Präzision der Totaldruck gemessen. Die gute Selektivität der Quarzmembran für Helium ermöglicht die Gleichsetzung des gemessenen Totaldrucks mit dem Heliumpartialdruck. Im Artikel wird das Prinzip und die Eigenschaft des neuartigen Sensors beschrieben. Die Stärken dieses Nachweises werden anhand von Applikationsbeispielen aufgezeigt.