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Anlagen für die Solarzellen‐Schichterzeugung benötigen hervorragend ausgelegte Vakuumsysteme
Author(s) -
Kuhn Monika
Publication year - 2009
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200900378
Subject(s) - die (integrated circuit) , gynecology , physics , humanities , philosophy , engineering , mechanical engineering , medicine
Die Auslegung geeigneter Vakuumlösungen für die Produktion von Solarzellen mittels Dünnschichttechnologie ist eine der großen Herausforderungen für die Hersteller von Vakuumpumpen. Eine exakte Abstimmung des Systems auf die jeweiligen Einsatzfälle in Hinblick auf Sicherheit, Korrosion, Gefahrenpotential und Robustheit ist nur durch Einsatz unterschiedlicher Pumptechnologien in Verbindung mit umfangreichem Applikationswissen und geeignetem Zubehör möglich. Die Herausforderungen werden in den kommenden Jahren wachsen, da die Produktionsprozesse ständigen Veränderungen unterliegen und die Erfahrung auf Seiten der Betreiber begrenzt ist. Eine ständige Produktanpassung an geänderte Prozessbedingungen ist unumgänglich, um langfristig die Kosten zu senken und die Zuverlässigkeit der Systeme zu erhöhen.