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Beschichtung von metallischen Membranen mittels Pulsed Laser Deposition
Author(s) -
Lackner J.M.,
Mukherji D.,
Waldhauser W.,
Wanderka N.,
Kardjilov N.,
Näth O.,
Jäger S.,
Schmitz F.,
Rösler J.
Publication year - 2008
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200800359
Subject(s) - materials science , chemistry
Der Funktionalisierung von meso‐ und nanoporösen Werkstoffen durch Beschichtungen kommt zunehmend größere Bedeutung zu. So kann z.B. deren Porenoberfläche hinsichtlich der Biokompatibilität oder dem katalytischen Verhalten modifiziert werden. Derzeit sind dafür vor allem CVD‐Verfahren im Einsatz. Die vorliegende Arbeit zeigt jedoch am Beispiel der Pulslaserbeschichtung (PLD)‐‐ einem PVD‐Verfahren —, dass nanoporöse Membranen auf Ni 3 Al‐Basis und Porendimensionen von etwa 200 nm mit hoher Schichtdicken‐Homogenität und Schichthaftung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten bei geringen Membrandicken beschichtet werden können.