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Evaluierung von Abpumpkurven am Beispiel einer Glimmentladungsquelle
Author(s) -
Klemm Denis,
Hoffmann Volker,
Edelmann Christian
Publication year - 2008
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200800357
Subject(s) - physics , gynecology , chemistry , medicine
Bei modernen GD‐OES‐Geräten (GD‐OES = Glow Discharge Optical Emission Spectrometry) wird die Analysenzeit (Bruttoanalysezeit: 2 ‐ 5 Minuten) wesentlich durch die Abpumpzeit der Quelle und die Zuverlässigkeit der Spektralanalyse ‐ besonders bei der Analyse dünner Schichten (Schichtdicken < 100 nm) ‐ durch die Gas‐ und Oberflächenreinheit in der Quelle bestimmt. Bei einem verwendeten kommerziellen Spektrometergerät konnte durch geeignete Dimensionierung und Konstruktion des Pumpsystems und durch optimierte Führung des Flutungs‐ und Abpumpprozesses die Evakuierungszeit und der Enddruck in der Quelle reduziert sowie die Reinheit des Prozessgases am Ort der Analyse verbessert werden. Eine automatisierte, rechnergestützte Auswertung des zeitlichen Druckverlaufes im Rezipienten wurde entwickelt und gibt dem Anlagenbetreiber Hinweise über mögliche Lecks (z. B. infolge der Abnutzung von Dichtungen) in der Anlage oder über Verunreinigungen innerer Oberflächen, da der zeitliche Druckverlauf durch anlagenspezifische Parameter (u. a. effektives Saugvermögen, Leckrate, Gasabgaberate) bestimmt wird. Mittels Variation dieser Parameter wird die Lösung der Pumpgleichung an die gemessene Druck‐Zeit‐Kurve angepasst. Die dabei gefundenen Parameter sind wichtige Kenngrößen, die den Zustand der Vakuumanlage beschreiben. Damit kann der Anwender rechtzeitig eine Lecksuche durchführen oder Komponenten der Anlage reinigen bzw. ersetzen. Die Kontrolle über den Zustand des Vakuumsystems erhöht die Reproduzierbarkeit der Materialanalyse.