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Erweiterter Einsatz von Turbomolekular Vakuumpumpen durch Beschichtungen
Author(s) -
Froitzheim Michael,
Heppekausen Josef
Publication year - 2008
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200800352
Subject(s) - gynecology , chemistry , medicine
Abstract Turbomolekular‐Pumpen (TMP) können in einem weiten Druckspektrum zur Förderung der meisten Gase in vielfältiger Applikation eingesetzt werden. Einschränkungen ergeben sich im Wesentlichen durch die thermische und chemische Belastbarkeit insbesondere des mechanisch hochbeanspruchten Pumprotors. Möglichkeiten und Grenzen, die Einsetzbarkeit durch funktionale Schichten zu erweitern, werden in diesem Beitrag behandelt.