Magnetronzerstäubung – Meilensteine aus 20 Jahren

Abstract Die Magnetronzerstäubung ist heute die bedeutendste Technologie zur Abscheidung hochwertiger dünner Schichten. Seit ihrer Einführung gegen Ende der siebziger Jahre hat sie einen Siegeszug durch alle industriellen Branchen angetreten, die zur Realisierung oder Verbesserung ihrer Produkte Dünnschichttechnologien benötigen. Die Magnetronkathode vereint die Vorzüge der ökonomischen Schichtherstellung mit der Möglichkeit, auch sehr temperaturempfindliche Kunststoffe zu beschichten. Wesentliche Probleme wie die schlechte Targetmaterialausnutzung des planaren Magnetrons oder die Stabilitätsprobleme bei der Abscheidung hochisolierender Schichten wurden in den vergangenen 20 Jahren durch zahlreiche Innovationen weitgehend gelöst. Gepulste Entladungen bei Leistungen bis hin zum MW‐Bereich liefern hochionisierte Plasmen, die eine Basis für noch bessere Schichten bilden können.