Vakuum‐Lineardurchführungen mit Magnetflüssigkeitsdichtungen

Die Arbeitsbedingungen der Magnetflüssigkeitsdichtungen sind bei der linearen Bewegung anders als bei der Drehbewegung. Daher ist der Anwendung der für die Drehbewegung typischen Dichtungen auch bei der hin‐ und hergehenden Bewegung nicht effektiv. Die Analyse des Dichtheitmechanismus der Magnetflüssigkeitsdichtungen bei der linearen Bewegung weist darauf hin, dass die Effektivität dieser Dichtungen bedeutend durch die Deformation und Übertragung der Magnetflüssigkeit im Dichtspalt beeinflusst wird, was von der Geschwindigkeit der Verschiebung der Stange abhängt. Wie die Untersuchungen bewiesen, ist die Deformation und Verminderung der Menge der Magnetflüssigkeit im Spalt infolge deren Anhaften an die Stangenfläche die Hauptursache des Dichtheitsverlustes dieser Dichtungen. Zwecks Erhöhung der Wirkungseffektivität der oben beschriebenen Dichtungen werden Konstruktionslösungen angewendet, die die Übertragung der Magnetflüssigkeit im Dichtspalt bei der hin‐ und hergehenden Bewegung der Stange einschränken. Lineardurchführungen mit Magnetflüssigkeitsdichtungen gewährleisten die höchste Reinheit im Vakuum bei geringen Geschwindigkeiten der Verschiebung (bis 1 m/s). Das Dichtelement ist eine magnetisierbare Flüssigkeit, die mit einem Magnetfeld an der Dichtstelle gehalten wird. Diese Lineardurchführungen besitzen gegenüber konventionellen Dichtungsausführungen einzigartige Vorteile: — hermetische Dichtheit, — partikelfreier Betrieb, was in Vakuumprozessen höchste Reinheit sicherstellt, — keinerlei Haftreibung, — hohe Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer.