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Oberflächenwellen‐Strukturen in Cu‐Damaszentechnologie
Author(s) -
Menzel Siegfried,
Reitz Daniel,
Schmidt Hagen,
Albert Matthias
Publication year - 2007
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200700326
Subject(s) - physics , materials science
Eine neue Technologie zur Herstellung von Leistungs‐SAW‐Bauelementen mit vergrabenen Interdigitalwandlern aus einem Cu‐Dünnschichtsystem (Cu‐Damaszen‐Technik) wird beschrieben. Die so hergestellten Demonstratoren zeigen im Vergleich zu herkömmlichen Al‐Wandlern eine signifikant höhere Leistungsverträglichkeit und Lebensdauer. Die Eigenschaften der SAW‐Strukturen macht sie besonders attraktiv für neue Anwendungen, bei denen große SAW‐Amplituden und eine ebene Oberfläche der Struktur erforderlich sind.