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Herstellung funktionaler organischer Dünnschichten durch Vakuumverdampfung
Author(s) -
Drechsel Jens
Publication year - 2007
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200700319
Subject(s) - physics , gynecology , chemistry , humanities , philosophy , medicine
Das Aufdampfen unter Hochvakuum‐ oder Ultrahochvakuum‐Bedingungen ist eine seit fast hundert Jahren beherrschte Methode um funktionale dünne Schichten herzustellen. Seit der Entdeckung halbleitender Kunststoffe um 1970/80 wird dieses Verfahren zunehmend auch zur Erzeugung dünner organischer Schichten verwendet. Momentan stehen insbesondere Materialien für organisches LEDs (OLEDs) sowie Dünnschicht‐Solarzellen im Mittelpunkt des Interesses. Das Verdampfen von Organika benutzt die Vorzüge der bekannten Hochvakuumverfahren (Reinheit, kompatible Prozesse, Nutzung von Masken, usw), bildet jedoch auch neue Herausforderungen an die Prozess‐Steuerung. Der Artikel beschreibt sowohl die grundsätzlichen Anforderungen, Fähigkeiten aktueller temperaturgeregelter Verdampferquellen, Material‐Aspekte, als auch typische technische Anwendungen.