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Dynamisches Handling im Vakuum
Author(s) -
Leischnig Lothar
Publication year - 2007
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200700315
Subject(s) - gynecology , physics , political science , materials science , medicine
Der Einsatz bewegter Systeme in der Vakuumkammer erfordert ein Umdenken bei der Konstruktion, der Auswahl der Materialien und deren Verarbeitung. Insbesondere trifft dies zu, wenn Bewegungen präzise, besonders gleichmäßige und dynamische ausgeführt werden müssen. Die Antriebe müssen innerhalb der Kammer arbeiten, Drehdurchführungen mit außen liegendem Antrieb sind nur bedingt einsetzbar. Beim Ätzen von Substraten sind dynamische Abläufe mit guter Positioniergenauigkeit gefordert, beim Beschichten ist eine hohe Gleichlaufgüte unabdingbar. Besonders zu beachten sind die Ausgasungsraten der eingesetzten Komponenten und Werkstoffe sowie deren Partikelemission. Durch geeignete konstruktive Maßnahmen können Systeme hergestellt werden, die diese Anforderungen erfüllen.