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Beschichtungsverfahren: 5 Zerstäuben von Oberflächen
Author(s) -
Schultrich Bernd
Publication year - 2006
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200690060
Subject(s) - chen , citation , art history , art , library science , computer science , paleontology , biology