Premium
Bücher: Praxiswissen Mikrosystemtechnik: Grundlagen, Technologien, Anwendungen. By: F. Völklein, T. Zetterer
Author(s) -
Jitschin Wolfgang
Publication year - 2006
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200690054
Subject(s) - materials science