Premium
Verbessertes Kaltkathoden‐Ionisationsmanometer mit verlängerter Lebensdauer
Author(s) -
Wilfert Stefan,
Edelmann Christian
Publication year - 2006
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200600304
Subject(s) - chemistry , gynecology , medicine
Wird ein Kaltkathoden‐Ionisationsmanometer in einer kohlenwasserstoffhaltigen Gasatmosphäre bei hohen Drücken im Vakuumbereich betrieben, dann wird die mittlere Lebensdauer des Manometers durch eine Kontamination der Elektroden und damit durch eine starke Veränderung der Entladungsstrom‐Druck‐Kennlinie begrenzt. Infolgedessen liefert das Messgerät nach einer gewissen Betriebszeit entweder keine verlässliche Druckanzeige mehr oder kann im ungünstigsten Fall ganz ausfallen. Im Folgendem wird ein verbessertes Kaltkathoden‐Ionisationsvakuummeter vom inversen Magnetron‐Typ vorgestellt, welches speziell für den Langzeitbetrieb in stark kohlenwasserstoffhaltigen Restgasatmosphären konzipiert wurde. Der Messkopf weist bei annähernd konstanter Messgenauigkeit eine mindestens 3‐fach höhere Lebensdauer als kommerziell erhältliche Kaltkathoden‐Messröhren auf. Erreicht wurde dies durch die Verwendung zweier getrennter Entladungskammern in einem gemeinsamen Messröhrengehäuse, wobei die am Röhreneingang positionierte Entladungszone lediglich als Ionenbaffle wirkt und die weiter innen liegende Entladung als Messgrundlage fungiert. Es werden der Prototyp des entwickelten kontaminationsarmen inversen Doppelmagnetrons vorgestellt und Untersuchungsergebnisse zum Langzeitmessverhalten präsentiert.