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Hochbelastbare kohlenstoffbasierte Mehrschichtsysteme für die Umformtechnik
Author(s) -
Weber M.,
Bewilogua K.,
Thomasen H.,
Wittorf R.
Publication year - 2006
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200600288
Subject(s) - physics , materials science
Abstract Amorphe Kohlenwasserstoffschichten (metallfreies a‐C:H und metallhaltiges a‐C:H:Me) reagieren sehr empfindlich auf lokale Überlastungen, wie sie z. B. bei Anwendungen in der Umformtechnik auftreten können. Harte abrasive Partikel, prozessbedingte Spannungsspitzen auf der Werkzeugoberfläche oder auch Überlastungen durch Fehler in der Werkzeuggeometrie führen häufig zur Rissbildung und zum vorzeitigen Versagen der Schichten. Verglichen mit der hohen Härte und Verschleißbeständigkeit sowie den sehr guten Reibeigenschaften ist die Haftfestigkeit der Kohlenstoffschichten häufig unbefriedigend. Die Haftfestigkeit und Belastbarkeit von reaktiv gesputtertem a‐C:H und a‐C:H:Me, kann in hohem Maße durch Zwischenschichten beeinflusst werden. In diesem Beitrag werden die Versagensmechanismen von amorphen Kohlenwasserstoffschichten untersucht und der Einfluss von verschiedenen metallischen, nitridischen und carbidischen Zwischenschichten auf die Wachstumsstruktur, Haftung und Belastbarkeit von a‐C:H und a‐C:H:Me‐Schichten beschrieben. Zwei hoch belastbare Mehrschichtsysteme für Werkzeuge und Komponenten werden vorgestellt.