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CVD ZrO 2 ‐Beschichtung von Fasern bei Normaldruck
Author(s) -
Samoilenkov Sergej,
Wahl Georg,
Than Eberhard
Publication year - 2006
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200600279
Subject(s) - chemistry , materials science
Zwei neuartige Normaldruck‐Gasphasenabscheideverfahren von Zirkoniumdioxid auf Faserbündeln mit mehreren tausend Einzelfasern (Einzelfaserdurchmesser ≈10 µm) wurden im Rahmen des AiF‐Vorhabens 12783N entwickelt: 1) Mit Flammen‐CVD, einem weitgehend kontainerlosen Atmosphärendruck‐Verfahren, konnte ZrO 2 aus Zirkoniumdipivaloylmethanat bzw. Zirkoniumacetylacetonat auf SiTiC Fasern abgeschieden werden. Eine mittlere Abscheiderate von 3·10 –5 mol·m –2 ·s –1 wurde bei einer Beschichtungszonenlänge von 4 cm erreicht. 2) In einem weiteren thermischen CVD‐Prozess bei Atmosphärendruck erfolgte die Beschichtung durch die Hydrolyse von Zirkoniumdipivaloylmethanat in Wasserdampf. In der Pilot‐Anlage mit 60 cm langer Abscheidezone wurde eine Abscheiderate von 7·10 –6 mol·m –2 ·s –1 erreicht. Die mittlere Schichtdicke von 10 nm ist in der Pilot‐Anlage für die Fasertransportgeschwindigkeit von ca. 30 m/h erreichbar. Diese Abscheidegeschwindigkeiten stellen die höchsten bisher erreichten Werte für Oxid CVD Abscheideprozesse bei Normaldruck dar.