Kontrollierte Abscheidung und Alterung von Plasmapolymerschichten

Es wird gezeigt, dass mit einer Kombination der Oberflächenanalyseverfahren ESCA, ToF‐ SIMS und XAS eine erfolgreiche chemische Charakterisierung von Plasmapolymerfilmen erreicht werden kann. Es werden Elemente und Bindungstypen identifiziert und (semi‐)quantitativ bestimmt. Eine Korrelation zwischen Abscheidebedingungen und chemischen Eigenschaften der Plasmapolymerschichten kann hergestellt werden; eine kontrollierte Abscheidung wird damit möglich. Alterungsprozesse, die als Folge einer Atmosphärenexposition auftreten, können beobachtet werden. Die direkte Verbindung der Analysetechniken mit einem Plasmareaktor ermöglicht es, die Alterungsphänomene der Schichten systematisch mit Bezug auf eine frisch abgeschiedene und keinerlei Atomsphäre ausgesetzte Plasmapolymerschicht zu studieren. Die Verfahrensweise wird exemplarisch am Beispiel von Ethylen‐, Allylamin‐ und Allylalkohol‐Plasmapolymerschichten demonstriert.