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Permanente plasmapolymere Trennschichten
Author(s) -
Vissing KlausD.,
KlyszczNasko Holger
Publication year - 2006
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200600275
Subject(s) - chemistry , political science
Beschichtungen mit Trennaktivität zeichnen sich dadurch aus, dass das O/Si‐Verhältnis ca. 1:1 und das Kohlenstoff‐Siliziumverhältnis ca. 2:1 beträgt. Hieraus lässt sich folgern, dass für die Trennwirkung eine Struktur verantwortlich ist, die dem PDMS ähnlich ist und für die dreidimensionale Vernetzung ein erhöhter Anteil an Si‐O‐Bindungen notwendig ist. Das entwickelte Trennschichtsystem (EP 1 301 286 B1) wird derzeit vielfältig eingesetzt und getestet, um seine Leistungsfähigkeit zu beweisen. In Einzelfällen sind bis zu 1250 Entformungen ohne Verschlechterung der Trennwirkung durchgeführt worden. In anderen Fällen erfolgt bereits eine Qualifizierung.