Druckmessung im 10 –3 mbar Bereich mit Wärmeleitungs‐ und Membran‐Vakuummeter

Zur zuverlässigen und einfachen Druckmessung im 10 –3 mbar Bereich bieten sich das Wärmeleitungs‐ und das kapazitive Membran‐Vakuummeter an. Geräte beider Typen wurden eingesetzt, um an einem Kolbenmanometer den Glockendruck zu erfassen. Die Messeigenschaften der Geräte wurden durch regelmäßige Kalibrierungen überwacht und erwiesen sich als stabil. Wie sich aus den Kalibrierdaten ergibt, scheint das Wärmeleitungsvakuummeter wegen seiner besseren Nullpunktstabilität vorteilhaft zu sein. Im praktischen Einsatz treten jedoch erhebliche Unterschiede der Druckanzeigen der beiden Geräte auf. In der vorliegenden Arbeit werden daher ihre Messeigenschaften beim Einsatz untersucht, bei dem der Druck eines unbekannten Gases innerhalb kurzer Zeit zuverlässig gemessen werden soll. Die Untersuchungen zeigen, dass das Wärmeleitungs‐Vakuummeter wegen seiner langsamen Reaktion bei kleinen Drücken und seiner Abhängigkeit von der Gasart unzuverlässige Werte liefert. Bei der vorliegenden praktischen Anwendung erweist sich das Membran‐Vakuummeter sehr deutlich als überlegenes Messgerät.