Zur Kompression von Klassischen Turbo‐Molekularpumpen. On the compression in classical turbomolecular pumps

Abstract In diesem Artikel wird ein für die Praxis nützliches Modell vorgestellt, das es erlaubt, die Kompressions‐Kurven einer Klassischen Turbo‐Molekularpumpe zu berechnen und systematisch zu analysieren. Das Modell basiert auf einer einfachen Differentialgleichung für den Druck als Funktion des Ortes im Inneren der Turbo‐Molekularpumpe. Die Lösung dieser Differentialgleichung ermöglicht sowohl die Berechnung der Kompressions‐Kurven bei endlichem Gas‐Durchsatz (Q > 0) als auch die Berechnung des Druck‐Verlaufs im Inneren der Turbo‐Molekularpumpe. Es wird die Hypothese aufgestellt, dass die Kompressions‐Kurve für Gas‐Durchsatz Null aus einer Kompressions‐Kurve bei endlichem Gas‐Durchsatz – z. B. Q = 1 sccm – errechnet werden kann. Der Vergleich mit experimentellen Daten zeigt, dass das vorgestellte Modell eine exzellente qualitative und quantitative Beschreibung der beobachteten Phänomene liefert.