Premium
Gezielte Manipulation von Mikropartikeln in einem Plasma. Manipulation of micro‐disperse particles in a process plasma
Author(s) -
Basner Ralf,
Fehske Holger,
Kersten Holger.,
Kosse Sylvio.,
Schubert Gerald
Publication year - 2005
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200500267
Subject(s) - materials science
Für die Behandlung, d. h. die Oberflächenmodifizierung oder Beschichtung, von mikro‐dispersen Materialien (Pulver, Granulate, Fasern etc.) in einem Prozessplasma ist das Verständnis der Plasma‐Teilchen‐Wechselwirkung von großem Interesse. Zu diesem Zweck werden entsprechende experimentelle Untersuchungen in einer neuartigen Apparatur PULVA‐INP vorgestellt.