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Funktionalisierung der Oberfläche von Mikrostrukturen – Technologie und Anwendungen –. Functionalization of Microstructure Surfaces
Author(s) -
Reinicke Holger,
Lipold Oliver,
Ohl Andreas,
Besch Wilfried,
Schröder Carsten,
Götz Friedrich
Publication year - 2005
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200500254
Subject(s) - humanities , materials science , philosophy
Die Mikrotechnologie ermöglicht die Auslegung und Herstellung neuartiger Plattformen, die kostengünstig im Bereich der Biodiagnostik eingesetzt werden. Durch den Einsatz der Plasmatechnologie zur gezielten Einstellung der Oberflächeneigenschaften werden die Plattformen anwendungsspezifisch modifiziert. Um die Produkteigenschaften schnell und zuverlässig einstellen und prüfen zu können, wurden spezielle Testchips entwickelt. Die Entwicklungsergebnisse und erste Produkte werden in diesem Artikel vorgestellt.