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Die Kalibrierung von Wärmeleitungsvakuummetern. The Calibration of Thermal Conductivity Vacuum Gauges
Author(s) -
Breitenbach Jürgen
Publication year - 2005
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200500252
Subject(s) - physics
Wärmeleitungsvakuummeter werden in zahlreichen Anwendungen zur Überwachung von Grob‐ und Feinvakuum eingesetzt. Zur Feststellung der Richtigkeit der Messwerte fordern moderne Quälitätsmanagementsysteme eine regelmäßige Kalibrierung. Das Kalibrierlabor des Deutschen Kalibrierdienstes (DKD) der Firma VACUUBRAND verfügt über die Messaufbauten bzw. Messverfahren zum Kalibrieren von Vakuummessgeräten im Messbereich 10 ‐3 bis 1000 mbar. Die Messtechnik und das Kalibrierverfahren werden anhand von Wärmeleitungsvakuummetern mit digitaler Anzeige erläutert. Neben allgemeinen Angaben zur Kalibrierung werden die Besonderheiten von Wärmeleitungsvakuummetern und deren Auswirkungen auf das Kalibrierverfahren hervorgehoben. Die Bedeutung der Messabweichung und der Messunsicherheit sowie die Interpretation des Kalibrierscheins werden für den Benutzer diskutiert.