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LEEM – ein vielseitiges Werkzeug in der Nanotechnik. LEEM – a versatile tool in Nanotechnology
Author(s) -
Duden Thomas
Publication year - 2005
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200500249
Subject(s) - physics , humanities , philosophy
Abstract Der folgende Artikel soll die Mikroskopie mit langsamen Elektronen auf einfache und anschauliche Weise vorstellen. Neben einer kurzen Beschreibung der Methode und ihrer Möglichkeiten, mit typischen Beispielen aus dem Bereich der ultradünnen Schichten, wird für den Praktiker auch auf konstruktive Aspekte bei der Auslegung des Vakuum‐ und Hochspannungssystems eingegangen. Einige Beispiele heutiger Ausführungsformen des ELMITEC LEEM‐Instrumentes demonstrieren am Ende ein derzeit verwendetes Konzept. Die angegebenen Zitate erlauben eine Vertiefung der hier nur angedeuteten Thematiken.