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Flammenpyrolytische Silikatbeschichtung bei Normaldruck als Alternative zu Vakuumverfahren. Combustion CVD of silica as an alternative method to vakuum treatment
Author(s) -
Richter Thomas,
Tiller HansJürgen
Publication year - 2004
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200400218
Subject(s) - materials science , combustion , chemistry , organic chemistry
In Weiterentwicklung des Pyrosil®‐Verfahrens wurde eine neue Art der Precursoreinspeisung in CCVD‐Systeme entwickelt, realisiert und anhand von technischen Substraten (Metall, Glas, Kunststoffe) auf ihre Funktionstüchtigkeit überprüft. Hierzu wurde eine Versuchsanlage aufgebaut, an welcher die Möglichkeiten des Verfahrens demonstriert werden können und welche Interessenten für Versuche zur Verfügung steht. Im Vergleich mit dem Pyrosil®‐Verfahren konnten gleiche und bessere Ergebnisse erzielt werden.