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New Turbomolecular Pump with Central Opening for Free Axial Access. Eine neue Turbomolekularpumpe mit zentraler Öffnung für freien axialen Zugang
Author(s) -
Mokler P.H.
Publication year - 2004
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200400215
Subject(s) - art , physics
Standard Turbomolekularpumpen haben typischerweise eine kreisringförmige Ansaugöffnung auf der Hochvakuumseite (single‐flow pumps). Die zentrale innere Kreisfläche des Kompressoreingangs der Turbine ist inaktiv für den Pumpvorgang. Das neue Design schlägt eine zentrale Öffnung der Turbomolekularpumpe entlang der ganzen Achse vor. Die zentrale Öffnung kann zur Montage von Durchführungen, Manipulatoren, Fenstern usw. beziehungsweise zum Anschluss weiterer Vakuumeinrichtungen benutzt werden; insbesondere können auch rohrförmige Vakuumsysteme umschlossen werden. Das neue Design erlaubt ein mehrfaches Benutzen eines Pumpflansches einer Vakuumapparatur ohne dort die Pumpleistung zu reduzieren. Außerdem ist das vorgeschlagene Design ideal geeignet für axiale oder radiale differentielle Pumpanordnungen wie sie beispielsweise für alle Gasjet‐ähnlichen Apparaturen oder andere Druckreduktionsstufen benötigt werden.