Premium
Plasma‐aktivierte Bedampfung von flexiblen Materialien. Plasma‐activated vapour deposition on flexible substrates
Author(s) -
Günther Steffen
Publication year - 2004
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200400199
Subject(s) - chemistry , polymer chemistry
Die Vakuumbeschichtung von flexiblen Materialien, insbesondere Kunststofffolien, wird weltweit eingesetzt, um deren Oberflächeneigenschaften für bestimmte Anwendungen zu verändern. Gewünschte physikalische Eigenschaften, wie z. B. Dichte, Härte, Brechungsindex und Permeation, sind dabei in starkem Maße von der Mikrostruktur der aufgebrachten Schicht abhängig. Wie in diesem Artikel gezeigt werden soll, wird durch die Anwendung plasmaaktivierter Verfahren diese Mikrostruktur entscheidend verbessert. Am Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl‐ und Plasmatechnik (FEP) wurde ein Verfahren zur Plasmaaktivierung bei der Hochratebeschichtung entwickelt. Das Verfahren basiert auf der Hohlkathoden‐Bogenentladung. Die Plasmaquellen sind für hochproduktive Bandbedampfungsanlagen mit Schiffchenverdampfern oder Elektronenstrahlverdampfern geeignet.