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Hydrogen in High Vacuum Systems with Turbomolecular Pumps and Different Backing Pumps
Author(s) -
Breitenbach J. B.,
Discherl J.,
Lachenmann R.
Publication year - 2003
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200390005
Subject(s) - gynecology , chemistry , physics , medicine
Die Kombination von Weitbereich‐Turbomolekularpumpe und Membranpumpe ergibt ein kleines, aber sehr leistungsfähiges und vor allem ölfreies Hochvakuumpumpensystem. Turbomolekularpumpen haben gasartabhängige Kompressionsverhältnisse, die kleinsten bei Wasserstoff. Daher kann das Restgas im Hochvakuum merklich durch den Wasserstoffpartialdruck bestimmt werden. Es wurden Restgasuntersuchungen an einem Hochvakuumsystem mit Turbomolekularpumpe und verschiedenen Vorpumpen durchgeführt, die zeigen, dass keine Verbesserung des Wasserstoffpartialdruckes eintritt, wenn eine Membranpumpe mit niedrigem Enddruck durch eine Drehschieberpumpe oder einen Rootspumpstand ersetzt wird. Wie die Messungen zeigen, wird der Enddruck durch das Verhältnis Ausgasungsrate zu Saugvermögen bestimmt und nicht durch das Kompressionsverhältnis der Hochvakuumpumpe in Abhängigkeit vom Vorvakuumdruck. Der Wasserstoffpartialdruck stieg allerdings an, wenn das Vorvakuum der Membranpumpe erhöht wurde. Bei einem Vorvakuumdruck kleiner 0,5 mbar erreichte das Hochvakuum einen stabilen, durch eine weitere Absenkung des Vorvakuums nicht verbesserbaren Wert.