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Spatial distribution and intensity of barrier plasma for surface treatment
Author(s) -
Ermel V.,
Förster F.,
Lindmayer M.,
Prinz E.
Publication year - 2003
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200300182
Subject(s) - physics
Technische Anwendungen von Barrierenladungen an Luft bei Atmosphärendruck gewinnen immer mehr an Bedeutung auf dem Markt der Plasmatechnologien, weil sie eine umweltschonende und preiswerte Alternative zu anderen Verfahren der Oberflächenbehandlung bieten. Diese Plasmen bestehen üblicherweise aus einer Vielzahl räumlich und zeitlich eng begrenzter Filamente, deren Verteilung zur Erzielung homogener Behandlungsergebnisse möglichst gleichmäßig sein sollte. Dies gilt insbesondere für die Plasmabehandlung empfindlicher Medien wie Wolle oder anderer Textilien. In Anlagen zum kontinuierlichen Durchlauf bestehen die Barrieren‐Anordnungen oft aus einem System Walze – Walze oder Walze – Ebene, wobei die Gasspaltweite ortsabhängig variiert. Die Intensität und Verteilung der Filamente wird durch optische Kurzzeitaufnahmen sowie durch ortsaufgelöste Messung der Stromverteilung und der daraus abgeleiteten Energieverteilung untersucht. Die gemessene Ortsabhängigkeit kann mit Hilfe eines kapazitiven Ersatzschaltbildes erklärt werden.