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Filtered arc deposition
Author(s) -
Bergmann Erich,
Gorokowsky Vladimir
Publication year - 2002
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.200290006
Subject(s) - philosophy , physics , gynecology , medicine
Eine Einführung in die Bedeutung der Transportprozesse bei Beschichtungen führt zur Definition des Phasenwandlers als Überbegriff für Filter für die Lichtbogenverdampfer. Einer kurzen Übersicht über Filtervarianten folgt eine Darstellung der industriellen Lösung, der rechteckigen Plasmaleitkammer. Einige Anwendungsbeispiele und ein qualitativer Vergleich mit anderen Verfahren ergänzen die Darstellung.