Premium
Strömungsleitwert der dünnen Blende
Author(s) -
Jitschin W.,
Khodabakhshi S.,
Szwemin P. J.
Publication year - 1998
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19980100414
Subject(s) - physics , microbiology and biotechnology , chemistry , philosophy , gynecology , medicine , biology
Der Strömungsleitwert einer dünnen Kreisblende mit 1,2 mm Nenndurchmesser wurde für 8 Gase bei Eingangsdrücken von 10 −3 bis 10 3 mbar und vernachlässigbar kleinen Ausgangsdrücken vermessen. Die Meßwerte umfassen somit die verschiedenen Strömungsbereiche von molekular bis viskos. Zum Vergleich der Daten für verschiedene Gase wurden diese skaliert: der Druck nach der inversen Knudsenzahl und der Leitwert nach dem Leitwert bei Molekularströmung. Es zeigt sich, daß der Übergang von molekularer zu viskoser Strömung lediglich näherungsweise mit der inversen Knudsenzahl skaliert. Die Daten im viskosen Bereich entsprechen den Vorhersagen für gasdynamische Strömung, wenn die Kontraktion des Strömungsquerschnitts berücksichtigt wird. Bei Knudsenzahlen Kn ≈ 1/100 ergibt sich ein Maximum des Strömungsleitwerts, dessen Verlauf von der Gasart abhängt.