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Weitbereich‐Turbomolekularpumpen und Membranvorvakuumpumpen als trockene HV‐ und UHV‐Pumpsysteme
Author(s) -
Breitenbach J. B.,
Bickert P.,
Eckle F. J.,
Lachenmann R.
Publication year - 1998
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19980100412
Subject(s) - materials science , physics
Die Entwicklung neuer Turbomolekularpumpen mit erhöhter Vorvakuumbeständigkeit ermöglicht bei Auslaßdrücken von bis zu 30 mbar den Einsatz von bis zu 30 mbar den Einsatz von ölfreien Membranpumpen als Vorvakuumpumpen. Die Kombination von Weitbereich‐Turbomolekularpumpe und Membranpumpe stellt ein preiswertes, kompaktes und technisch trockenes HV‐ und UHV‐Pumpensystem dar. Das Zusammenwirken von Weitbereich‐Turbomolekularpumpen mit verschiedenen Membranpumpen wird im Hinblick auf Gasdurchsatz, Kompressionsverhältnis, Enddruck und Leistungsaufnahme diskutiert und Auswahlkriterien für die Vorpumpe werden aufgezeigt.