Völlig ölfreie neue Vorvakuumpumpe für saubere Anwendungen

In der letzten Zeit geht überall dort, wo trockenes Vorvakuum benötigt wird und saubere Gase gepumpt werden, der Trend hin zu preiswerten Vorvakuumpumpsystemen. Diese ersetzen die seit langer Zeit in der Halbleiterindustrie erprobten trockenen Prozeßpumpen, welche für einfache Anwendungen zu aufwendig und zu teuer sind. Um eine robuste, preiswerte und zuverlässige trockenverdichtende Vorvakuumpumpe zur Verfügung zu stellen, wurde die altbekannte Technologie der Kolbenkompressoren an die vakuumtechnischen Anforderungen angepaßt. Das daraus resultierende Produkt ist 4stufig in der Lage, 3 − 4 × 10 −2 mbar zur Verfügung zu stellen. Alle gasfördernden Schöpfräume sind vollständig trocken, und die im trocken abgedichteten Getrieberaum befindlichen fettgeschmierten Lager sind zusätzlich nochmals gedichtet. Die Wahl einer besonderen Ventilgeometrie und reibungsarmer Beschichtungswerkstoffe resultiert in einer langlebigen, robusten Maschine, welche auch Störfälle, wie z. B. gebrochene Wafer, überstehen kann. Anwendungsgebiete sind zum Beispiel Load‐Lock‐Kammern, Analyseninstrumente und vielfältige Einsätze in der Forschung.