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Massenflußreglung in modernen Vakuumprozessen
Author(s) -
Hofmann Peter
Publication year - 1998
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19980100309
Subject(s) - humanities , physics , gynecology , materials science , art , medicine
Viele moderne Vakuumprozesse benötigen eine Stoffzufuhr von flüssigen/festen Materialien mit niedrigsten Dampfdrücken. Thermische Massenflußregler (MFC) werden im allgemeinen eingesetzt, um geregelt Dämpfe und Gase in Prozesse einzuleiten. Jedoch beschränkt sich deren Einsatzgebiet auf Applikationen, in denen hohe Dampfdrücke oder Gasdrücke einen ausreichenden Stofftransport gewährleisten. Um dennoch definiert und reproduzierbar Materialien mit geringen Dampfdrücken in Vakuumprozesse zu befördern, kommen Techniken wie druckgestützte MFC's oder ein Transport über die flüssige Phase zum Einsatz. Eine detaillierte Diskussion dieser Technologien, mit entsprechenden Anwendungsbeispielen findet sich im Folgenden.