Vakuumwaagen – Teil 2: Mikrowaagen

Für Sorptionsmessungen und thermogravimetrische Untersuchungen wurden Vakuum‐ Balkenwaagen mit einer Auflösung bis herab zum Nanogrammbereich entwickelt. In korrosiver Atmosphäre oder unter sehr reinen Bedingungen ist die magnetische Schwebewaage vorteilhafter. Der von der Waage getrennte Probenraum enthält nur die Probe auf der Waagschale in stabiler Position an einem Permanentmagneten hängend, der in einigem Abstand von einem geregelten Magneten schwebt. Die Federwaage bietet für solche Aufgaben eine billigere Alternative, falls geringere Anforderungen an die relative Empfindlichkeit gestellt werden. Schwingsysteme, insbesondere Quarzschwinger werden zur Überwachung von Aufdampfprozessen benutzt. Solche oszillierenden Sensoren benötigen kein Gravitationsfeld und sind deshalb in der Raumfahrt anwendbar.