Großflächige Beschichtungen mit der mikrowellenangeregten Plasmapolymerisation

Die Bedeutung moderner Dünnschichttechnologie zur Veredelung der Oberfläche klassischer Werkstoffe hat in den letzten Jahren ständig zugenommen. Dünnschichttechnologien nutzen vorwiegend vakuum‐, plasma‐ und ionentechnische Prinzipien zur Schichtabscheidung beziehungsweise Oberflächenmodifikation. Im Bereich der Dünnschichttechnologie wird mit der Plasmapolymerisation zukünftig ein Verfahren eine wichtige Rolle spielen, an dem im IKV bereits seit Jahren intensiv gearbeitet wird. Die Plasmapolymerisation, ein Vakuumbeschichtungsverfahren auf Niedertemperaturbasis, eignet sich besonders zum Beschichten von Kunststoffen. Spezieller Vorteil ist, daß sich die abgeschiedenen Polymerschichten durch eine gezielte Prozeßführung in ihren Eigenschaften verändern und auf verschiedenste Anforderungen einstellen lassen [1]. Hauptmerkmale plasmapolymerisierter Schichten sind: ‐ hoher Vernetzungsgrad, ‐ hohe chemische und mechanische Belastbarkeit, ‐ hohe Dichte, ‐ Mikroporenfreiheit, ‐ amorphe Schichtstruktur, ‐ glatte Schichtoberfläche und ‐ gute Haftung selbst auf unpolaren Oberflächen.Derartige Schichteigenschaften machen die Plasmapolymerisation für vielfältige Anwendungsgebiete interessant, weil sie eine gezielte Einstellung gewünschter Oberflächeneigenschaften erlaubt.