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Moderne Aufdampfmaterialien für optische Anwendungen
Author(s) -
König Friedrich
Publication year - 1998
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19980100209
Subject(s) - physics
Das Verfahren der physikalischen Dampfabscheidung (PVD) hat sich in den letzten 60 Jahren von seinen Ursprüngen zu einer breit eingesetzten Beschichtungstechnik entwickelt. Dabei ist die ursprüngliche Methode, das Aufdampfen, auch die bevorzugte Methode für das ursprüngliche Anwendungsgebiet, die Optik, geblieben. Mit der technischen Entwicklung und der Zunahme der Anwendungen wuchsen auch die Forderungen nach einer größeren Auswahl an Beschichtungsmaterialien. Gleichzeitig mußte die Qualität der Materialien mit den Veränderungen der Verfahrenstechnik und mit der wachsenden Produktivität der Anlagen schritthalten. Obwohl die Auswahl an geeigneten Aufdampfsubstanzen vergleichsweise gering ist, können die Labors der Materiallieferanten auch heute nicht über einen Mangel an Arbeit klagen. Neue Anwendungen der Aufdampftechnik auch außerhalb der Optik und die bisher nur an wenigen Beispielen aufgezeigten Möglichkeiten organischer Verbindungen lassen im Gegenteil die Anzahl der Entwicklungsthemen ansteigen. Der folgende Aufsatz beschreibt Anforderungen, Entwicklung und Trends für Aufdampfsubstanzen aus der Sicht eines Materialherstellers.

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