Premium
Nutzen des Einsatzes von modernen Refrigerator‐Kryopumpen in industriellen Prozessen sowie in der Forschung
Author(s) -
Müller D.,
Voss G.
Publication year - 1998
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19980100207
Subject(s) - chemistry
Abstract Dem Leser wird die Funktionsweise moderner Kryopumpen erläutert inklusive der Pumpprozesse und der verschiedenen Regenerier‐Verfahren. Anhand charakteristischer Eigenschaften von Kryopumpen erhält der potentielle Anwender einen Leitfaden zur Bewertung, ob diese Pumpen in seinem speziellen Vakuum‐Prozess nutzbringend eingesetzt werden können.