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Optische Schichten für UV‐Hochleistungsoptiken
Author(s) -
Kaiser N.
Publication year - 1998
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19980100111
Subject(s) - chemistry , physics
Dünne Schichten sind durch ihre geringe Strahlungsfestigkeit eine Schwachstelle in optischen Systemen für ultraviolette Strahlung. Durch die Hochvakuumverdampfung von Oxid‐ und Fluoridschichten unter extremen Reinheitsbedingungen gelingt jetzt die Herstellung von optischen Schichten höchster Strahlungsfestigkeit.