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Bestimmung der Gasabgabe von nichtmetallischen Werkstoffen für den Einsatz im Ultrahochvakuum (UHV)
Author(s) -
Pauly Fred,
Schröder Gerald,
Filho João da Cruz Payão
Publication year - 1997
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19970090407
Subject(s) - physics , humanities , chemistry , art
Wird ein Festkörper in einen evakuierten Raum gebracht, gibt er mehr oder weniger viel Gas in unterschiedlicher Zusammensetzung ab. Literaturdaten für Gasabgaberaten sind für etablierte Werkstoffe zwar vorhanden aber aufgrund der verschiedenen Meßverfahren und ‐aufbauten nur bedingt miteinander vergleichbar. Selten findet man neben quantitativen Daten auch eine qualitative Untersuchung der desorbierenden Stoffe. Für neue Produkte sind diese Daten in vielen Fällen noch nicht verfügbar. Deshalb wurde zur Untersuchung des Ausgasungsverhaltens von nichtmetallischen Werkstoffen und Sonderbauteilen unter Ultrahochvakuum‐Bedingungen eine rechnergesteuerte Experimentier und Meßeinrichtung im Forschungszentrum Jülich erstellt. Nachfolgend werden die Funktionsweise und der Aufbau dieser Apparatur kurz vorgestellt. An einem Beispiel werden, stellvertretend für die bisher durchgeführten Messungen, die gewonnen Ergebnisse diskutiert.