Premium
Mit Hochfrequenz angeregte Niederdruckplasmen: Prinzipien und Strukturierung von Halbleitern. Teil II
Author(s) -
Franz Gerhard
Publication year - 1997
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/vipr.19970090211
Subject(s) - siemens , physics , humanities , philosophy , quantum mechanics